高端裝備制造
斜楔式菱形放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法
一種斜楔式菱形放大機構壓電粘滑直線電機及其激勵方法,以解決當前壓電粘滑直線電機由于摩擦力綜合調控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明包括預壓力調節(jié)機構、斜楔式定子和動子;所述定子的斜楔式菱形運動轉換機構具有微位移放大功能,由于其軸向剛度分布不均既產生側向位移,又可增大摩擦驅動力和減小摩擦阻力;同時將摩擦調控波耦合疊加于斜楔式定子快速變形驅動階段的鋸齒驅動波中,降低快速變形驅動階段定、動子間摩擦阻力,實現(xiàn)對摩擦力的綜合調控,提升壓電粘滑直線電機的機械輸出特性。本發(fā)明因具有結構簡單緊湊、易裝配、控制方便、定位精度高以及行程大等優(yōu)點可以廣泛應用于半導體加工等微納精密驅動與定位技術領域。
長春工業(yè)大學
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