材料化工
非對稱菱形鉸鏈正交驅(qū)動型壓電粘滑直線馬達及其復合激勵方法
一種非對稱菱形鉸鏈正交驅(qū)動型壓電粘滑直線馬達及其復合激勵方法，以解決當前壓電粘滑直線馬達由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發(fā)明由加載平臺、定子和動子組成；所述定子利用非對稱菱形運動轉換器產(chǎn)生側向位移，增大了摩擦驅(qū)動力，減小了摩擦阻力，所產(chǎn)生的側向運動通過定子驅(qū)動足驅(qū)動動子運動；同時將摩擦調(diào)控波耦合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動波中，降低快速變形階段定、動子間摩擦阻力，降低位移回帶率，顯著提升壓電粘滑直線馬達的機械輸出特性。本發(fā)明因具有結構緊湊、定位精度高等優(yōu)點，在微納操作、半導體加工以及精密光學儀器等具有結構微型化、定位精度要求高的領域中具有很好的應用前景。
長春工業(yè)大學
授權發(fā)明
