高端裝備制造
基于液晶空間光調(diào)制器的空間移相動態(tài)干涉儀及其應用
本發(fā)明屬于光學技術領域,具體涉及基于液晶空間光調(diào)制器的空間移相動態(tài)干涉儀及其應用;干涉儀包括:He?Ne激光器、第一針孔濾波、第一準直擴束系統(tǒng)、λ/2波片、偏振分光棱鏡、第一λ/4波片、第二準直擴束系統(tǒng)、第二針孔濾波、偏振片、液晶空間光調(diào)制器、第二λ/4波片、標準球面鏡頭、被測鏡、檢偏器、成像系統(tǒng)、第三針孔濾波和光探測器,通過對SLM的編碼調(diào)制實現(xiàn)非球面元件與自由曲面元件的動態(tài)測試,并通過使用SLM代替微偏振移相陣列實現(xiàn)空間相位調(diào)制,不僅裝調(diào)簡單,且不需要微偏振移相陣列,難度大大降低,且本發(fā)明具有實時性動態(tài)顯示的功能,并且耗能低、易控制、速度快,更容易提高空間分辨率,實現(xiàn)高精度測量。
長春理工大學
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