| 專(zhuān)利名稱(chēng) |
一種紅熒烯薄膜自組裝有序圖案化生長(zhǎng)制備的方法 |
| 申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào) |
CN201510744112.2 |
專(zhuān)利權(quán)人（第一權(quán)利人） |
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) |
| 申請(qǐng)日 |
2015-11-06 |
授權(quán)日 |
2018-02-23 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別 |
授權(quán)發(fā)明 |
戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類(lèi) |
材料化工 |
| 技術(shù)主題 |
自組裝|化學(xué)|大氣層|傳導(dǎo)渠道|半導(dǎo)體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
真空蒸發(fā)鍍覆|濺射鍍覆|離子注入鍍覆 |
| 意向價(jià)格 |
具體面議 |
| 專(zhuān)利概述 |
本發(fā)明是一種紅熒烯薄膜自組裝有序圖案化生長(zhǎng)制備的方法，即在真空氛圍中，在SiO2層之上沉積紅熒烯層，通過(guò)沉積、停歇的多次循環(huán)，實(shí)現(xiàn)自組裝排列的孔狀圖案化紅熒烯薄膜，紅熒烯聚集處為半導(dǎo)體的導(dǎo)電溝道部分，而紅熒烯未聚集的孔洞處是不導(dǎo)電部分。從而實(shí)現(xiàn)免去光刻的自組裝圖案化生長(zhǎng)，達(dá)到有序、可控圖案化生長(zhǎng)的目的。 |
| 圖片資料 |
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| 合作方式 |
具體面議 |
| 聯(lián)系人 |
戚梅宇 |
聯(lián)系電話(huà) |
13074363281 |
