專利名稱 一種二維振動(dòng)輔助的輥對平面熱壓印裝置
申請?zhí)?專利號(hào) CN201820504518.2 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長春工業(yè)大學(xué)
申請日 2018-04-11 授權(quán)日 2018-11-06
專利類別 實(shí)用新型 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 材料化工
技術(shù)主題 工程學(xué)|殘余應(yīng)變|非彈性變形|軸向位移|聚合物|長寬比|剪切變形|熱壓紋|分子結(jié)構(gòu)
應(yīng)用領(lǐng)域 化學(xué)工程|實(shí)用技術(shù)|材料科學(xué)|設(shè)備改進(jìn)|高端裝備
意向價(jià)格 具體面議
專利概述 本實(shí)用新型公開了一種二維振動(dòng)輔助的輥對平面熱壓印裝置，調(diào)節(jié)X?Y工作平臺(tái)，使襯底位于壓印輥正下方，啟動(dòng)加熱裝置對襯底進(jìn)行預(yù)熱，再由Z軸位移平臺(tái)調(diào)控升降平臺(tái)使壓印裝置向下運(yùn)動(dòng)，直至壓印輥與襯底微接觸，并進(jìn)行壓印，在壓印的同時(shí)使用二維振動(dòng)平臺(tái)對襯底進(jìn)行二維振動(dòng)，壓印完成后進(jìn)行冷卻固化并使用二維振動(dòng)輔助脫模，最后控制升降裝置上升，壓印結(jié)束。本實(shí)用新型采用二維振動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)襯底實(shí)現(xiàn)壓印時(shí)X?Y方向振動(dòng)，使壓印過程模具與固態(tài)膠層之間產(chǎn)生剪切變形，使固態(tài)膠非彈性變形或流動(dòng)，圖案根部有殘留應(yīng)力，使高深寬比圖案不坍塌，并通過振動(dòng)振散分子結(jié)構(gòu)以減少粘附力，從而減少模板與聚合物脫離時(shí)造成的損傷與毀壞，增大微納圖案的效率與保真度。
圖片資料 一種二維振動(dòng)輔助的輥對平面熱壓印裝置
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281